製品 OUR PRODUCTS
独自のナノ粒子成膜技術により、高機能な表面処理と精密なデバイス形成を実現します。
NANO PARTICLES
ナノ粒子関連装置・受託試作
メタル・セラミックスナノ粒子、カーボンナノホーン等の作製装置の提供のほか、AGD/GD装置を用いた受託試作膜形成サービスも承っております。
- 多種多様なナノ粒子
- 受託試作サービス
- 研究開発用オーダーメイド
AGD SYSTEM
エアロゾル化ガスデポジション（AGD）装置
高速成膜・高密着 スパッタ法に比べて３０倍近く成膜！
セラミックスの常温成膜装置である。 微粒子を密閉容器に入れ、ガスを導入し、エアロゾルを作る。 巻き上げられた粒子は、ガスと共に搬送管を経て、ノズルより対向する基板へ噴射堆積される。 ガス搬送過程において摩擦帯電されたセラミックス粒子の高速噴射により、 緻密なナノ粒子構造膜が形成される。
- セラミックス常温成膜
- 緻密なナノ構造膜
- 日本発のオリジナル技術
GD SYSTEM
ガスデポジション（GD）装置
ガス中で作製されたナノ粒子はガス搬送され、 ノズルから対向する基材へ噴射堆積される。 活性なナノ粒子を膜形成に利用するために、低温成膜が可能である。
- 低温・マスクレス成膜
- 超微細ダイレクト描画
- 金属ナノ粒子対応
