AGD装置シリーズ
エアロゾル化ガスデポジション法を用いた成膜装置。研究開発用から量産試作まで、用途に合わせたラインナップをご用意しています。
Standard Model
AGD-1
研究開発用 標準モデル
基礎研究や材料開発に最適なスタンダードモデル。コンパクトな設計ながら、本格的なAGD成膜が可能です。
- ノズル幅＆本数5mm, 4 nozzles
- 基材駆動100mm (2-axis)
- 成膜サイズMAX 105mm×100mm
Compact Model
AGD-2
コンパクトモデル
コンパクトな設計で精密な成膜を実現。小型サンプルの研究開発に最適なモデルです。
- ノズル幅＆本数5mm, 1 nozzle
- 基材駆動50mm×50mm (2-axis)
- 成膜サイズ55mm×50mm
Single Axis Model
AGD-3
一軸駆動モデル
一軸駆動でシンプルな操作を実現。線状成膜に最適なモデルです。
- ノズル幅＆本数10mm, 1 nozzle
- 基材駆動50mm (single-axis)
- 成膜サイズ10mm×50mm
Single Axis Model
AGD-4
一軸駆動モデル
一軸駆動でシンプルな操作を実現。線状成膜に最適なモデルです。
- ノズル幅＆本数10mm, 1 nozzle
- 基材駆動50mm (single-axis)
- 成膜サイズ10mm×50mm
Wide Nozzle Model
AGD-5
大面積成膜モデル
30mm幅ノズルで大面積への均一な成膜を実現。生産性を重視したモデルです。
- ノズル幅＆本数30mm, 1 nozzle
- 基材駆動100mm×100mm (2-axis)
- 成膜サイズ130mm×100mm
Dual Nozzle Model
AGD-6
デュアルノズルモデル
2本のノズルで効率的な成膜を実現。生産性と品質を両立させたモデルです。
- ノズル幅＆本数5mm, 2 nozzles
- 基材駆動50mm×50mm (2-axis)
- 成膜サイズ55mm×50mm
Triple Nozzle Model
AGD-7
トリプルノズルモデル
3本のノズルで高効率な成膜を実現。量産試作に最適なモデルです。
- ノズル幅＆本数5mm, 3 nozzles
- 基材駆動100mm×100mm (2-axis)
- 成膜サイズMAX 105mm×100mm
Quad Nozzle Model
AGD-8
クアッドノズルモデル
4本のノズルで最高の生産性を実現。量産対応のプロフェッショナルモデルです。
- ノズル幅＆本数5mm, 4 nozzles
- 基材駆動100mm (2-axis)
- 成膜サイズMAX 105mm×100mm