日刊工業新聞 掲載 日刊工業新聞に静電誘導プラズマ成膜技術が掲載される日時:2015年3月18日場所:日刊工業新聞 27頁内容:常温で絶縁膜高速生成 静電誘導プラズマ技術 渕田ナノ技研が開発 [PDF]