代表的な装置仕様

ノズル幅＆本数；10㎜、1本
基材駆動；50㎜（一軸駆動）
成膜サイズ；10㎜×50㎜

ノズル幅＆本数；5㎜、1本
基材駆動；50㎜×50㎜（2軸）
成膜サイズ；55㎜×50㎜

ノズル幅＆本数；30㎜、1本
基材駆動；100㎜×100㎜（2軸）
成膜サイズ；130㎜×100㎜

ノズル幅＆本数；5㎜、2本
基材駆動；50㎜×50㎜（2軸）
成膜サイズ；55㎜×50㎜

ノズル幅＆本数；5㎜、4本
基材駆動；100㎜（2軸）
成膜サイズ；MAX105㎜×100㎜

ノズル幅＆本数；5㎜、3本
基材駆動；100㎜×100（2軸）
成膜サイズ；MAX105㎜×100㎜

ノズル幅＆本数；30㎜、2本
基材駆動；120㎜×120㎜（2軸）
成膜サイズ；Ｍａｘ.150㎜×120㎜

ノズル幅＆本数；120㎜、1本
基材駆動；120㎜×120㎜（2軸）
成膜サイズ；Ｍａｘ240㎜×120㎜